详细信息
产品特点
能匹配MOCVD设备和CVD设备
-可以与科研级和小批量生产设备连接
-灵活的拆装与组合
创新式高集成度MO系统
-具备通源运行功能
-具备换源操作功能
简单易用的操作界面
-触摸屏操作，一键启动，操作简单轻松上手
自主的实时监控功能
-具备监控和报警功能
高性价比之选
-紧凑可靠的动力，性能稳定
-满足大部分MO源生长过程
| 功能 | 单路MO源系统 |
|---|---|
| 气路控制系统 | 可实现run line和vent line的切换 |
| 恒温器 | 风冷式恒温器，-5-100度（常规） |
| source 流量 | 300sccm（常规） |
| push 流量 | 500sccm（常规） |
MO源管道加热 | 最高和加热至100度（常规） |
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